LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズの光源には安全な赤色LEDを採用していますので、煩わしい安全対策が一切不要。レーザ光使用の際に必要な保護カバーや米国で使用する際に必要なFDA規則の取得も必要ありません。

消費電流は、センサヘッドとコントローラ合わせて70mA以下。光電センサ並みの低消費電力を実現しています。

ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズは、赤色LED光源でありながらレーザセンサ並みの高性能を実現しましたので、高精度な検出が可能です。

投・受光部一体型ですから、面倒な光軸調整は不要です。また、検出距離および検出幅が30mmと広いエリアをカバーできますのでさまざまなサイズのウェーハに対応できます。