ウェーハマッピングセンサ M-DW1

レーザ光を使用した従来のレーザ式マッピングセンサは、レーザ光がロードポートの内側からFOUPを抜けてオペレータに当たるため危険でした。
ウェーハマッピングセンサM-DW1は、LEDを光源に使用することに成功。これによりオペレータの安全性を確保しています。

最近急増しているガラスウェーハは反射光量が少なく、これまで端面検出が難しいとされてきました。
これに対してウェーハマッピングセンサM-DW1は、反射光の位置で検出するため、反射光量が多い少ないに関わらずガラスウェーハの検出が可能になりました。

反射光量による検出では、反射光量やウェーハのエッジ形状により検出に影響が出ます。
ウェーハマッピングセンサM-DW1は受光部に2分割受光素子を採用し、反射光量ではなく反射光の位置で検出。このためウェーハの厚みや反射光量の影響を受けにくい設計となっています。

センサからのケーブル引き出し方向は、真後ろ方向、右方向、左方向、下方向の全部で4通り。センサの設置状況に合わせてフレキシブルに対応できます。

サイズは幅80.6mm 厚さ18.3mm 奥行き50mm、質量は約75gの小型・軽量タイプ。