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제어기기

수주 종료 상품



원터치 설치 방식 내진공 화이버

주문 가이드

내진공 화이버 상품 구성

내진공 투과형 화이버(2개 세트)

대기 측 화이버는 별매입니다. 별도로 구입하십시오.

종류 선단 형상(mm) 형식명 굴곡 반경
(mm)
화이버 길이 광축 지름
(mm)
사용
주위
온도


내열 300℃,
렌즈(FV-LE1/SV1/SV2) 장착 가능
FT-40V R25 1m(주1) ø1.3 -30~
+300℃
(주1): 프리컷 타입이 아닙니다. 화이버 길이를 100mm 단위로 변경한 타입을 세미커스텀으로 대응합니다. 자세한 내용은 문의주십시오.
투과형 화이버용 렌즈가 준비되어 있습니다. 자세한 내용은 옵션 페이지를 참조하십시오.
>>옵션 페이지 가기
검출 거리에 대한 내용은 '디지털 화이버 센서 FX-550/FX-550L 화이버 일람', '디지털 화이버 센서 FX-500 Ver.2 화이버 일람', '디지털 화이버 센서 FX-100 화이버 일람' 각 페이지를 참조하십시오.

내진공 반사형 화이버

대기 측 화이버는 별매입니다. 별도로 구입하십시오.

종류 선단 형상(mm) 형식명 굴곡 반경
(mm)
화이버 길이 사용
주위
온도


장거리
반사형
내열 300℃, 각형 헤드
FD-KZ50V R25 1m(주1) -30~
+300℃
한정
반사형
내열 300℃, 유리 기판 검출
FD-L10V 3m(주1)
(주1): 프리컷 타입이 아닙니다. 화이버 길이를 100mm 단위로 변경한 타입을 세미커스텀으로 대응합니다. 자세한 내용은 문의주십시오.
검출 거리에 대한 내용은 '디지털 화이버 센서 FX-550/FX-550L 화이버 일람', '디지털 화이버 센서 FX-500 Ver.2 화이버 일람', '디지털 화이버 센서 FX-100 화이버 일람' 각 페이지를 참조하십시오.

대기 측 화이버(2개 세트)

종류 선단 형상(mm) 형식명 굴곡 반경
(mm)
화이버 길이 프리컷 사용
주위
온도


Tough
FT-J9
R4
내굴곡
2m(주1) ○(주2) -30~
+80℃
(주1): 화이버 길이를 1m 단위로 변경한 타입을 세미커스텀으로 대응합니다. 자세한 내용은 문의주십시오.
(주2): 프리컷 타입의 화이버는 말단부 처리에 따라 검출 거리가 최대 20% 짧아질 수 있으므로 주의하십시오.
아래 마크는 꺾이지 않고(굴곡 반경:R10mm, 왕복 굴곡:180°), 휘는(굴곡 반경:R4mm 이하) 화이버입니다.
터프

내진공 플랜지

적합 화이버는 FT-40V, FD-KZ50V, FD-L10V, FT-J9입니다.

품명 형식명 내용
내진공 플랜지
1CH
FV-FR1 대기 측과 진공 측을 아이솔레이션합니다.
진공 챔버 권장 두께
・FV-FR1:3.0~40.0mm(주1)
내진공 플랜지
4CH
FV-FR4 대기 측과 진공 측을 아이솔레이션합니다.
진공 챔버 권장 두께
・FV-FR4:3.0mm(주2)
(주1): 권장 두께 이외의 진공 챔버에는 FV-FR1을 설치할 수 없으므로 사전에 충분히 확인하십시오.
(주2): 진공 챔버가 지나치게 두꺼우면 진공 측 화이버에 FV-FR4를 설치할 수 없는 경우가 있습니다. 이 때는 진공 측 화이버와 FV-FR4를 연결한 상태로 설치하십시오.

내진공 플랜지의 주요 사양

형식명 FV-FR1 FV-FR4
적합 화이버 FT-40V, FD-KZ50V, FD-L10V, FT-J9
리크량 1.0×10−10Pa・m3/sec 이하(※He디텍터에서)
사용 주위 온도 −30℃~+120℃
(보관 시도 동일. 고습도 환경에서는 +40℃까지. 단, 결로 및 결빙 없을 것)
사용 주위 습도 35~85%RH(보관 시도 동일)
조임 강도 너트 14.7N・m 이하(M14 너트부) 9.8N・m 이하(M8 나사)
당김 강도 20N 이하(대기 측/진공 측 화이버 조인트부)
O링 사이즈 V15 V40
중량 약 100g 약 410g
재질 본체:SUS303, 유지 브래킷:SUS301,
화이버부:석영 유리, O링:불소 고무

부속품

•FD-KZ50V용 설치 브래킷
MS-FD-2

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