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凹凸、偏心、段差、厚み、傾きを非接触で測定

検出方式 特長 分解能 シリーズ名
光/反射式
(レーザ変位)
高速・多点 1μm
超高速
高分解能
0.01μm~
小型・
デジタル表示付
0.5μm~
超小型・
デジタル表示付
10μm~
(繰り返し精度)
光/透過式
(レーザライン)
わずかな光量差を
高精度に判別
4μm~
磁気変位 高速・高精度
デジタル変位
0.02%F.S.

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段差、傾き、厚みなどを接触して測定

検出方式 特長 分解能 シリーズ名
接触式変位 スリム&堅牢
高精度
0.1μm~
高性能
高機能
0.5μm~

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