【システムメンテナンスのお知らせ】
現在、システムメンテナンスのため、サイト内検索およびスペック条件検索の機能が一時的にご利用いただけません。ご不便をおかけしますが、ご理解のほどよろしくお願い申し上げます。
【パナソニック デバイスSUNX商品 および パナソニック デバイスSUNX竜野商品 製造者変更のお知らせ】
2024年4月1日以降、本ページ内の表記、およびダウンロード対象のマニュアル等の「パナソニック デバイスSUNX株式会社」および「パナソニック デバイスSUNX竜野株式会社」を
全て「パナソニック インダストリー株式会社」と読み替えて適用するものといたします。
耐薬品ファイバ
全商品金属部品を使用しないメタルレス構造
フッ素樹脂被覆により幅広い薬液・油に対応。
特長
<透過型>フルプロテクトタイプ [メタルレス] [保護構造IP68G]
FT-HL80Y / FT-L80Y / FT-V80Y / FT-Z802Y
■アプリケーション
洗浄槽内のウェーハカセット検出 |
![洗浄槽内のウェーハカセット検出](/ac/j/fasys/sensor/fiber/chemical/images/pic02.jpg) |
|
|
腐食環境でのウェーハ検出 |
![腐食環境でのウェーハ検出](/ac/j/fasys/sensor/fiber/chemical/images/pic03.jpg) |
|
|
薬品充てん機での容器検出 |
![薬品充てん機での容器検出](/ac/j/fasys/sensor/fiber/chemical/images/pic04.jpg) |
|
|
腐食環境でのウェーハ検出 |
![腐食環境でのウェーハ検出](/ac/j/fasys/sensor/fiber/chemical/images/pic05.jpg) |
|
|
<反射型>フルプロテクトタイプ [メタルレス] [保護構造IP68G]
FD-S60Y
|
メタルレス構造
金属部品を一切使用していないため、保護チューブが破損しても、金属汚染の心配がありません。クリーンな環境が求められる半導体前工程などの装置に最適です。
|
|
保護チューブを簡単に切断可能
金属部品を一切使用していないため、保護チューブが破損しても、金属汚染の心配がありません。クリーンな環境が求められる半導体前工程などの装置に最適です。
|
長距離、狭視界検出
レンズ内蔵により、開口角30°の狭視界検出を実現しま
した。
|
|
先端部分の取り回し向上
保護チューブの曲げ半径R30mmを実現。従来(R40mm)よりも取り回しがしやすくなりました。
|
ページトップへ戻る
ページトップへ戻る