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LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

安全なLED光で高精度検出30μmを実現

LED式ウェーハアライメントセンサ  HD-T1
CE Marking

CE を取得しています。
CE : EMC指令

特長

安全方策一切不要

ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズの光源には安全な赤色LEDを採用していますので、煩わしい安全方策が一切不要。レーザ光使用の際に必要な保護カバーや米国で使用する際に必要なFDA規則の取得も必要ありません。

省施工

センサヘッドとコントローラとの接続はワンタッチコネクタ式。配線の工数が最小限で済み、メンテナンスもラクです。

省施工

低消費電流70mA以下

消費電流は、センサヘッドとコントローラ合わせて70mA以下。光電センサ並みの低消費電力を実現しています。

高分解能30μm

ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズは、赤色LED光源でありながらレーザセンサ並みの高性能を実現しましたので、高精度な検出が可能です。

光軸調整不要

投・受光部一体型ですから、面倒な光軸調整は不要です。また、検出距離および検出幅が30mmと広いエリアをカバーできますのでさまざまなサイズのウェーハに対応できます。

スパンおよびシフト調整機能を装備

アナログ出力(1〜5V)には、スパン調整機能に加えてアナログ電圧を±0.5Vの範囲でシフトできる便利なシフト調整機能を装備しました。

スパンおよびシフト調整機能を装備

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