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LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

仕様

仕様

センサヘッド

型式名		HD-T1030
組み合わせコントローラ		HD-T1C
検出幅		30mm(直線性は、28mm幅にて規定)
検出距離		30mm(固定)(注2)
耐環境性	保護構造	IP40(IEC)
	使用周囲温度	0～+40℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+55℃
	使用周囲湿度	35～85%RH、保存時：35～85%RH
	使用周囲照度	白熱ランプ：受光面照度3,000lx以下、蛍光灯光：受光面照度3,000lx以下
	耐電圧	AC1,000V 1分間　充電部一括・ケース間
	絶縁抵抗	DC250Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
	耐振動	耐久10～150Hz　複振幅0.75mm　XYZ各方向2時間
	耐衝撃	耐久490m/s²(約50G) XYZ各方向3回
投光素子		赤色LED(発光ピーク波長：650nm)
受光素子		フォトダイオード
材質		本体ケース：PEI、前面カバー部：ガラス、取付ベース：アルミ
ケーブル		耐熱PVCケーブル0.5m末端コネクタ付
質量		本体質量：約150g

(注1)：指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。

(注2)：出荷時、取付ベースに固定された状態での値です。

(注1)：	指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。
(注2)：	出荷時、取付ベースに固定された状態での値です。

コントローラ

型式名		HD-T1C
組み合わせセンサヘッド		HD-T1030
電源電圧		24V DC±10%　リップルP-P10%以下
消費電流		70mA以下(センサヘッドを含む)
アナログ出力		アナログ電圧・出力電圧：1±0.5V(全遮光時)～5±0.5V(全入光時) ・出力インピーダンス：75Ω
	応答時間	0.5ms以下(8V/ms以上)
	分解能	30μm(注2)
	直線性	±1.0%F.S.(検出位置中心の検出幅28mmにて)(注3)
	温度特性	±0.1%F.S./℃(24±2℃にて)(注3)
スパン調整機能		アナログ出力電圧のスパンを調整、15回転エンドレスボリウム装備
シフト調整機能		アナログ出力電圧のオフセットを調整、15回転エンドレスボリウム装備
ウォーミングアップ時間		30分以上
耐環境性	保護構造	IP40(IEC)
	使用周囲温度	0～+40℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+70℃
	使用周囲湿度	35～85%RH、保存時：35～85%RH
	耐電圧	AC1,000V 1分間　充電部一括・ケース間
	絶縁抵抗	DC250Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
	耐振動	耐久10～150Hz　複振幅0.75mm　XYZ各方向2時間
	耐衝撃	耐久490m/s²(約50G) XYZ各方向3回
材質		本体ケース：耐熱ABS、コネクタカバー部：耐熱ABS、ボリウムカバー部：ポリカーボネート
ケーブル		0.22mm² 3芯耐熱PVCケーブル0.3m付
ケーブル延長		0.3mm²以上のケーブルにて全長3mまで延長可能
質量		本体質量：約85g

(注1)：指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。

(注2)：分解能とは、アナログ出力のピークtoピーク距離換算値(20MHz以下帯域にて)です。

(注3)：センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。

(注1)：	指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。
(注2)：	分解能とは、アナログ出力のピークtoピーク距離換算値(20MHz以下帯域にて)です。
(注3)：	センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。

仕様