【お客様各位】2022年4月1日 パナソニック インダストリー株式会社に社名変更しました。掲載資料には旧社名のものが含まれております。順次、新社名への変更を進めております。
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ウェーハマッピングセンサ M-DW1
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受注終了予定
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安全なLED光を採用した反射型
ウェーハマッピングセンサ
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UL
、CE
を取得しています。
CE : EMC指令
UL : レコグニション認定
特長
安全性に優れたLED式
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レーザ光を使用した従来のレーザ式マッピングセンサは、レーザ光がロードポートの内側からFOUPを抜けてオペレータに当たるため危険でした。 |
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ガラスウェーハの検出も可能
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最近急増しているガラスウェーハは反射光量が少なく、これまで端面検出が難しいとされてきました。 |
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窒化膜ウェーハの検出が可能
窒化膜は特定波長の光を吸収する性質があり、吸収される波長は窒化膜の膜厚などによって変化します。そのため単波長のレーザ光を使用したセンサでは、光がすべて吸収されて検出不可能になる場合があります。
これに対して、LED光源には光の波長帯に幅があるため、窒化膜ウェーハでも確実に検出できます。
0.5msの高速応答
0.5msの高速応答を実現。高速応答性と高精度を高次元で両立しています。
2分割受光素子による高精度位置検出
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反射光量による検出では、反射光量やウェーハのエッジ形状により検出に影響が出ます。 |
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4通りのケーブル引き出し方向
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センサからのケーブル引き出し方向は、真後ろ方向、右方向、左方向、下方向の全部で4通り。センサの設置状況に合わせてフレキシブルに対応できます。 |
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アンプ内蔵の小型・軽量タイプ
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サイズは幅80.6mm 厚さ18.3mm 奥行き50mm、質量は約75gの小型・軽量タイプ。 |
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- 0120-394-205
