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ウェーハマッピングセンサ M-DW1

安全なLED光を採用した反射型
ウェーハマッピングセンサ

ウェーハマッピングセンサ  M-DW1
UL Recognaized CE Marking

UL 、CE を取得しています。
CE : EMC指令
UL : レコグニション認定

特長

安全性に優れたLED式

レーザ光を使用した従来のレーザ式マッピングセンサは、レーザ光がロードポートの内側からFOUPを抜けてオペレータに当たるため危険でした。
ウェーハマッピングセンサM-DW1は、LEDを光源に使用することに成功。これによりオペレータの安全性を確保しています。

安全性に優れたLED式

ガラスウェーハの検出も可能

最近急増しているガラスウェーハは反射光量が少なく、これまで端面検出が難しいとされてきました。
これに対してウェーハマッピングセンサM-DW1は、反射光の位置で検出するため、反射光量が多い少ないに関わらずガラスウェーハの検出が可能になりました。

ガラスウェーハの検出も可能

窒化膜ウェーハの検出が可能

窒化膜は特定波長の光を吸収する性質があり、吸収される波長は窒化膜の膜厚などによって変化します。そのため単波長のレーザ光を使用したセンサでは、光がすべて吸収されて検出不可能になる場合があります。
これに対して、LED光源には光の波長帯に幅があるため、窒化膜ウェーハでも確実に検出できます。

0.5msの高速応答

0.5msの高速応答を実現。高速応答性と高精度を高次元で両立しています。

2分割受光素子による高精度位置検出

反射光量による検出では、反射光量やウェーハのエッジ形状により検出に影響が出ます。
ウェーハマッピングセンサM-DW1は受光部に2分割受光素子を採用し、反射光量ではなく反射光の位置で検出。このためウェーハの厚みや反射光量の影響を受けにくい設計となっています。

2分割受光素子による高精度位置検出

4通りのケーブル引き出し方向

センサからのケーブル引き出し方向は、真後ろ方向、右方向、左方向、下方向の全部で4通り。センサの設置状況に合わせてフレキシブルに対応できます。

4通りのケーブル引き出し方向

アンプ内蔵の小型・軽量タイプ

サイズは幅80.6mm 厚さ18.3mm 奥行き50mm、質量は約75gの小型・軽量タイプ。

アンプ内蔵の小型・軽量タイプ

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