【パナソニック デバイスSUNX商品 および パナソニック デバイスSUNX竜野商品 製造者変更のお知らせ】
2024年4月1日以降、本ページ内の表記、およびダウンロード対象のマニュアル等の「パナソニック デバイスSUNX株式会社」および「パナソニック デバイスSUNX竜野株式会社」を
全て「パナソニック インダストリー株式会社」と読み替えて適用するものといたします。
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ウェーハマッピングセンサ M-DW1(終了品)
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本商品は受注を終了いたしました。
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仕様
| 種類 | LED式反射型 | |
|---|---|---|
| 型式名 | M-DW1 | |
| 中心検出距離 | 45mm | |
| 検出物体 | 3インチ以上の半導体ウェーハ(注2) | |
| 対応可能検出面 | 受光方向に反射する面を持つ端面形状の検出面(注3) | |
| 検出角度 | 12.5±5°(注4) | |
| ウェーハピッチ | 3mmピッチ以上で通常感度にて分離検出可能(注5) | |
| 対応カセット | SEMI規格FOUPカセット/オープンカセット | |
| 電源電圧 | 12～24V DC±10% リップルP-P10%以下 | |
| 消費電流 | 65mA以下 | |
| 出力 | NPN出力／PNP出力 切換スイッチにて選択 <NPN出力> NPNトランジスタ・オープンコレクタ ・最大流入電流：100mA ・印加電圧：30V DC以下(出力-0V間) ・残留電圧：1V以下(流入電流100mAにて) 0.4V以下(流入電流16mAにて) <PNP出力> PNPトランジスタ・オープンコレクタ ・最大流出電流：100mA ・印加電圧：30V DC以下(出力-+V間) ・残留電圧：1V以下(流出電流100mAにて) 0.4V以下(流出電流16mAにて) |
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| 出力動作 | 入光時ON／非入光時ON 切換スイッチにて選択 | |
| 短絡保護 | 装備(自動復帰) | |
| 応答時間 | 500μs以下 | |
| 動作表示灯 | 橙色LED(出力ON時点灯) | |
| 安定表示灯 | 緑色LED(安定入光時、安定非入光時点灯) | |
| タイマ機能 | 約2ms固定オフディレイタイマ装備 有効/無効切換式 | |
| 投光停止入力 | 信号条件 ・投光停止：開放または4～8V ・投光：0～3Vまたは9V～+V(26.4V MAX.) |
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| 感度切換入力 | 信号条件 ・入力OFF：開放または4～8V ・入力ON ：0～3Vまたは9V～+V(26.4V MAX.) |
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| 感度設定 | 背面ティーチング：本体感度設定ボタンにて実行 検出感度切り換え：本体スイッチ2bitにて4段階または外部入力にて2段階選択式 |
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| 耐 環 境 性 |
保護構造 | IP20(IEC) |
| 使用周囲温度 | 0～＋55℃(但し、結露しないこと)、保存時：−10～＋70℃ | |
| 使用周囲湿度 | 35～85%RH、保存時：35～85%RH | |
| 使用周囲照度 | 白熱ランプ：受光面照度3,000lx以下、蛍光灯光：受光面照度1,500lx以下 | |
| 耐電圧 | AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間 | |
| 絶縁抵抗 | DC250Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間 | |
| 耐振動 | 耐久10～500Hz 複振幅3mm XYZ各方向2時間 | |
| 耐衝撃 | 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 | |
| 投光素子 | LED(変調式) | |
| 材質 | ケース：ABSおよびSUS301、レンズ： アクリル | |
| ケーブル | 0.15mm2 5芯キャブタイヤケーブル300mm付 | |
| ケーブル延長 | 0.15mm2 以上のケーブルにて全長10mまで延長可能 | |
| 質量 | 本体質量：約75g | |
| (注1)： | 指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。 |
|---|---|
| (注2)： | 8インチ以下のウェーハ検出は、ウェーハピッチ、オリフラ部または表面の状態により、検出に影響が出る可能性があります。 |
| (注3)： | 研磨により厚みが薄くなったウェーハにて、端面が刃物形状となったものは、検出面から受光方向に光が反射しないために検出が困難な場合があります。 |
| (注4)： | ウェーハの回転によるオリフラ部の最大振れ角度は約±20°となります。 |
| (注5)： | 8インチウェーハが斜めに挿入されたときの中央付近のピッチです。オリフラ付ウェーハを検出するときのオリフラ部を避けた検出位置では、ウェーハピッチがさらに狭くなり、検出信号が分解できずに連続した幅の広い信号となります。 |
- 0120-394-205
関連情報
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