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フィードバックスケール/アクチュエータ/
精密位置決めステージ

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テクニカル情報

フィードバックスケール

フィードバックスケール一覧

タイプ メーカ 品番 分解能
[μm]※1
最大速度
[m/s]※2







A/B/Z相
各社
最大速度 4逓倍後 4 Mpps
シリ
アル
キヤノンプレシジョン株式会社
PH03-26110、PH03-26120
PH01-26110、PH01-26120
0.0625
12.8
株式会社マグネスケール
SL700-PL101RP/RHP
SL710-PL101RP/RHP
0.1
10
SR75 / SR85
0.01〜1
2
BF1
0.001/0.01
0.4/1.8
SQ10
0.05/0.1/
0.5/1
3
三菱重工工作機械株式会社
MPLIN
0.1
30
日本電産サンキョー株式会社
PSLH041 + PSLG
0.1
6







シリ
アル
キヤノンプレシジョン株式会社
PH03-26E00
PH01-26E00
0.0625
12.8
ハイデンハイン株式会社
LIC2197P/LIC2199P
0.05/0.1
10
LIC4193P/LIC4195P
LIC4197P/LIC4199P
0.001/0.005/0.01
10
LC195P/LC495P
0.001/0.01
3
ECA 4490P
27 bits〜29 bits
7000 rpm
〜550 rpm
(ドラム径による)
RCN 2x90P/RCN 5x90P
26 bits/28 bits
1500 rpm
RCN 8x90P
29 bit
500 rpm
RSF Electronik
MC 15P MP/MC 15P MK
0.05/0.1
10
MCR 15P
22 bits〜25 bits
Fagor Automation S.Coop
S3BP/G3BP
0.01/0.05
3
LAP
0.01/0.05
3
EXA/ EXG/ EXT
0.01/0.05
8
H2AP-D200/H2AP-D90
29 bit/26 bit
750 rpm/
1500 rpm
S2A-D90
26 bit
1500 rpm
株式会社マグネスケール
SR77 / SR87
0.01〜1
2
株式会社ミツトヨ
AT573-SC/H
0.05
2.5
ST700
0.1
5
ST1300
0.001/0.01
8
三菱重工工作機械株式会社
MPZA/MPRZ
23 bits
10000 r/min,
5000 r/min
レニショー株式会社
RESOLUTE
0.001
A5/0.4, A6/4
0.05
A5/20, A6/100
0.1
A5/40, A6/100
※1 アンプの最大パルス周波数の制限により、分解能と最大速度はフィードバックスケールメーカの仕様と異なる場合があります。最大パルス周波数は、A5 ファミリーでは400 Mpps、A6 ファミリーでは4 Gpps となっており、本表はA6 ファミリーの制限値を示しています。
※2 アンプとフィードバックスケールの組み合わせにはさまざまな制限があるので、必ず事前にお問い合わせください。
   

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フィードバックスケール適用例

フルクローズド制御/ リニアスケールタイプ 適用例
フルクローズド制御/ ロータリースケールタイプ 適用例
リニアモータ駆動時 適用例
DD モータ駆動時 適用例

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