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概要 - 流量センサ

概要

流量センサとは

流量センサとは、気体や液体が単位時間に流れる量を検出するセンサをいいます。
検出方式は、体積で検出する体積流量方式と、質量で検出する質量流量方式に分けられます。
特にFA業界で使用される気体用流量センサは、質量流量方式が主流となっており、質量流量方式にはさらに熱式、コリオリ式、渦式の3つの方式に大別されます。

流量センサ 体積流量方式  
質量流量方式 熱式
コリオリ式
カルマン渦式

パナソニック デバイスSUNXの流量センサは、熱式質量流量方式を採用しています。

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熱式流量センサの原理・特徴

パナソニック デバイスSUNXの熱式流量センサは、シリコンマイクロ加工技術を応用した、シリコンセンサチップを採用しています。

シリコンセンサチップ内部にあるヒータ部は、シリコン基板から熱的に絶縁されており、熱容量が極めて小さいため、高速応答で高感度です。

下図のようにヒータと周囲温度センサを含むブリッジ回路を構成すると、周囲温度センサに対してヒータの温度が一定の温度差となるように制御されます。ヒータの材質には温度変化に比例して抵抗値が変化する白金を使用しています。
気体が流れた場合、ヒータを一定の温度差に保つようヒータから奪われた熱を補うため、ブリッジ回路の出力電圧が流量に比例して上昇します。

この制御方式を用いると、温度変化や圧力変化の影響を受けにくい流量の検出ができます。また、この制御方式は比較的大流量の検出に適しています。

ブリッジ回路

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