웨이퍼 어드레스 센서 M(종료품)

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	2009년12월28일

사양

사양

종류		8인치 웨이퍼용		6인치 웨이퍼용
종류		25매용	26매용	25매용
형식명		M-825	M-826	M-625
웨이퍼 Pitch		6.35mm		4.76mm
전원 전압		20~26.4V DC 리플 P-P10% 이하
소비 전류		200mA
검출 출력		NPN 트랜지스터 · 오픈 컬렉터 ・최대 유입 전류 : 20mA ・인가 전압 : 30V DC 이하(검출 출력-0V 간) ・잔류 전압 : 1V 이하(유입 전류 20mA에서)
채널 수		25채널	26채널	25채널
	출력 동작	차광 시 ON
응답 시간		1ms 이하
투광 정지 기능		장착
출력 정지 (외부 동기) 기능		장착
전원 표시등		적색 LED(통전 시 점등)
내 환 경 성	사용 주위 온도	0~+40℃(단, 결로되지 않을 것), 보관 시 : -25~+60℃
	사용 주위 습도	35~85%RH, 보관 시 : 35~85%RH
	사용 주위 조도	형광등 : 수광면 조도 1,500lx 이하, 백열 램프 : 수광면 조도 100lx 이하
	내전압	AC 1,000V 1분간　충전부 전체 · 케이스 간
	절연 저항	DC 500V 절연 저항계에서 20MΩ 이상　충전부 전체 · 케이스 간
	내진동	내구 10~150Hz 복진폭 0.75mm XYZ 각 방향 2시간
	내충격	내구 490m/s²(약 50G) XYZ 각 방향 3회
투광 소자		적외 LED(발광 피크 파장 : 870nm, 변조식)
재질		검출부 : PPS, 본체 케이스 : ABS, 커넥터 : PBT
케이블		1.27mm Pitch　30심　가요형 커넥터 부속 플랫 케이블 500mm 부속
케이블 연장		동등한 플랫 케이블로 전체 길이 20m까지 연장 가능
질량		본체 질량 : 약 150g
부속품		스페이서 : 2개