LED식 웨이퍼 얼라이먼트 센서 HD-T1

기본 정보

안전한 LED광으로 고정밀도 검출 30μm를 실현

CE , UKCA Approved

특징

웨이퍼 얼라이먼트 센서 HD-T1 시리즈의 광원에는 안전한 적색 LED를 채택하여 번거로운 안전 대책이 일절 필요 없습니다. 레이저광을 사용할 때 필요한 보호 커버와 미국에서 사용할 때 필요한 FDA 규격을 취득할 필요가 없습니다.

센서 헤드와 컨트롤러 연결은 원터치 커넥터 방식입니다. 배선 공수를 최소한으로 줄여 유지보수도 간단합니다.

소비 전류는 센서 헤드와 컨트롤러를 합쳐 70mA 이하입니다. 광전 센서에 버금가는 저소비 전력을 실현시켰습니다.

웨이퍼 얼라이먼트 센서 HD-T1 시리즈는 적색 LED 광원입니다. 또한 레이저 센서 수준의 고성능을 실현하여 고정밀도 검출이 가능합니다.

투 · 수광부 일체형이므로 번거로운 광축 조정이 필요 없습니다. 또한 검출 거리 및 검출폭이 30mm의 넓은 영역을 커버할 수 있어 다양한 사이즈의 웨이퍼에 대응할 수 있습니다.

아날로그 출력(1~5V)에는 스팬 조정 기능과 함께 아날로그 전압을 ±0.5V의 범위에서 시프트할 수 있는 편리한 시프트 조정 기능이 장착되어 있습니다.

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