LED식 웨이퍼 얼라이먼트 센서 HD-T1

사양

사양

형식명		HD-T1030
조합 컨트롤러		HD-T1C
검출폭		30mm(직선성은 28mm 폭으로 규정)
검출 거리		30mm(고정)(주2)
내 환 경 성	보호 구조	IP40(IEC)
	사용 주위 온도	0~+40℃(단, 결로되지 않을 것), 보관 시 : -20~+55℃
	사용 주위 습도	35~85%RH, 보관시 : 35~85%RH
	사용 주위 조도	백열 램프 : 수광면 조도 3,000lx 이하, 형광등 조명 : 수광면 조도 3,000lx 이하
	내전압	AC 1,000V 1분간　충전부 전체 · 케이스 간
	절연 저항	DC 250V 절연 저항계에서 20MΩ 이상　충전부 전체 · 케이스 간
	내진동	내구 10~150Hz　복진폭 0.75mm　XYZ 각 방향 2시간
	내충격	내구 490m/s²(약 50G) XYZ 각 방향 3회
투광 소자		적색 LED(발광 피크 파장 : 650nm)
수광 소자		포토 다이오드
재질		본체 케이스 : PEI, 전면 커버부 : 유리, 설치 베이스 : 알루미늄
케이블		내열 PVC 케이블 0.5m 미만 커넥터 부속
질량		본체 질량 : 약 150g

(주1) : 지정하지 않은 측정 조건은 사용 주위 온도=+20℃입니다.

(주2) : 출하 시 설치 베이스에 고정된 상태의 값입니다.

(주1) :	지정하지 않은 측정 조건은 사용 주위 온도=+20℃입니다.
(주2) :	출하 시 설치 베이스에 고정된 상태의 값입니다.

형식명		HD-T1C
조합 헤드 센서		HD-T1030
전원 전압		24V DC±10%　리플 P-P10% 이하
소비 전류		70mA 이하(센서 헤드 포함)
아날로그 출력		아날로그 전압 ・출력 전압 : 1±0.5V(전체 차광 시)~5±0.5V(전체 입광 시) ・출력 임피던스 : 75Ω
	응답 시간	0.5ms 이하(8V/ms 이상)
	분해능	30μm(주2)
	직선성	±1.0%F.S.(검출 위치 중심의 검출폭 28mm에서)(주3)
	온도 특성	±0.1%F.S./℃(24±2℃에서)(주3)
스팬 조정 기능		아날로그 출력 전압의 스팬을 조정, 15회전 엔드리스 볼륨 장착
시프트 조정 기능		아날로그 출력 전압의 오프셋을 조정, 15회전 엔드리스 볼륨 장착
워밍업 시간		30분 이상
내 환 경 성	보호 구조	IP40(IEC)
	사용 주위 온도	0~+40℃(단, 결로되지 않을 것), 보관 시 : -20~+70℃
	사용 주위 습도	35~85%RH, 보관 시 : 35~85%RH
	내전압	AC 1,000V 1분간　충전부 전체 · 케이스 간
	절연 저항	DC 250V 절연 저항계에서 20MΩ 이상　충전부 전체 · 케이스 간
	내진동	내구 10～150Hz　복진폭 0.75mm　XYZ 각 방향 2시간
	내충격	내구 490m/s²(약 50G) XYZ 각 방향 3회
재질		본체 케이스 : 내열 ABS, 커넥터 커버부 : 내열 ABS, 볼륨 커버부 : 폴리카보네이트
케이블		0.22mm² 3심 내열 PVC 케이블 0.3m 부속
케이블 연장		0.3mm² 이상의 케이블로 전체 길이 3m까지 연장 가능
질량		본체 질량 : 약 85g

(주1) : 지정하지 않은 측정 조건은 사용 주위 온도=+20℃입니다.

(주2) : 분해능이란 아날로그 출력의 피크 to 피크 거리 환산값(20MHz 이하 대역에서)입니다.

(주3) : 센서 헤드와 컨트롤러를 조합한 상태에서 측정했을 때의 대표 예입니다.

(주1) :	지정하지 않은 측정 조건은 사용 주위 온도=+20℃입니다.
(주2) :	분해능이란 아날로그 출력의 피크 to 피크 거리 환산값(20MHz 이하 대역에서)입니다.
(주3) :	센서 헤드와 컨트롤러를 조합한 상태에서 측정했을 때의 대표 예입니다.

사양