제어기기

수주 종료 상품



웨이퍼 맵핑 센서 M-DW1

안전한 LED광을 채택한 반사형
웨이퍼 맵핑 센서

웨이퍼 맵핑 센서  M-DW1
UL Recognaized CE Marking

UL , CE Approved
CE : EMC 지령
UL : RECOGNITION 인정

특징

안전성이 뛰어난 LED식

레이저광을 사용한 기존의 레이저식 맵핑 센서는 레이저광이 로드 포트 안쪽에서 FOUP를 거쳐 오퍼레이터에 닿기 때문에 위험했습니다.
웨이퍼 맵핑 센서 M-DW1은 LED를 광원으로 사용하는 데 성공하여 오퍼레이터의 안전성을 확보했습니다.

안전성이 뛰어난 LED식

유리 웨이퍼 검출도 가능

최근 급증하고 있는 유리 웨이퍼는 반사 광량이 적어 지금까지 단면 검출이 어려웠습니다.
이에 비해 웨이퍼 맵핑 센서 M-DW1은 반사광의 위치에서 검출하기 때문에 반사광량이 많고 적음에 관계 없이 유리 웨이퍼를 검출할 수 있습니다.

유리 웨이퍼 검출도 가능

질화막 웨이퍼 검출 가능

질화막은 특정 파장의 빛을 흡수하는 성질이 있어 흡수되는 파장은 질화막의 막 두께 등에 따라 변합니다. 이 때문에 단파장 레이저광을 사용한 센서에서는 빛이 모두 흡수되어 검출이 불가능해지는 경우가 있습니다.
이에 반해 LED 광원은 빛의 파장대에 폭이 있기 때문에 질화막 웨이퍼도 확실하게 검출할 수 있습니다.

0.5ms의 고속 응답

0.5ms의 고속 응답을 실현. 고속 응답성과 고정밀도를 고차원적으로 양립시켰습니다.

2분할 수광 소자를 이용한 고정밀도 위치 검출

반사광량을 이용한 검출에서는 반사 광량이나 웨이퍼의 엣지 형상에 따라 검출에 영향을 받습니다.
웨이퍼 맵핑 센서 M-DW1은 수광부에 2분할 수광 소자를 채택하여 반사 광량이 아닌 반사광의 위치에서 검출합니다. 따라서 웨이퍼의 두께나 반사광량의 영향을 받지 않도록 설계했습니다.

2분할 수광 소자를 이용한 고정밀도 위치 검출

4곳의 케이블 인출 방향

센서의 케이블 인출 방향은 모두 4곳으로 뒷면, 우측, 좌측, 아래 방향입니다. 센서 설치 상황에 맞추어 유연하게 대응할 수 있습니다.

4곳의 케이블 인출 방향

앰프 내장 소형 · 경량 타입

폭 80.6mm, 두께 18.3mm, 안길이 50mm, 질량 약 75g의 소형 · 경량 타입

앰프 내장 소형 · 경량 타입

맨위로

전화 문의
02-795-9600 접수시간 9:00-18:00(본사 휴업일을 제외)
WEB 문의
  • 상담

맨위로

Webショールーム - 最新のFAセンサ・FA機器を動画で詳しくご紹介
기술 관련 문의
FA센서・시스템상품 기술 지원

본사

02-795-9600

FA센서・시스템 내선번호: 7857

천안사무소
041-622-9128

대구사무소
053-710-2301

접수시간 9:00-18:00
본사 휴업일을 제외

【WEB으로 문의】