웨이퍼 맵핑 센서 M-DW1(종료품)

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	2023년06월30일

사양

사양

종류		LED식 반사형
형식명		M-DW1
중심 검출 거리		45mm
검출 물체		3인치 이상의 반도체 웨이퍼(주2)
대응 가능 검출면		수광 방향으로 반사되는 면을 가진 단면 형상의 검출면(주3)
검출 각도		12.5±5°(주4)
웨이퍼 Pitch		3mm Pitch 이상에서 통상 감도로 분리 검출 가능(주5)
대응 카세트		SEMI 규격 FOUP 카세트/오픈 카세트
전원 전압		12~24V DC±10%　리플 P-P10% 이하
소비 전류		65mA 이하
출력		NPN 출력／PNP 출력　변환 스위치로 선택 <NPN 출력> NPN 트랜지스터 · 오픈 컬렉터 ・최대 유입 전류 : 100mA ・인가 전압 : 30V DC 이하(출력-0V 간) ・잔류 전압 : 1V 이하(유입 전류 100mA에서) 　　　　　　　 0.4V 이하(유입 전류16mA에서) <PNP 출력> PNP 트랜지스터 · 오픈 컬렉터 ・최대 유출 전류 : 100mA ・인가 전압 : 30V DC 이하(출력-+V 간) ・잔류 전압 : 1V 이하(유출 전류 100mA에서) 　　　　　　　 0.4V 이하(유출 전류16mA에서)
	출력 동작	입광 시 ON／비입광 시 ON　변환 스위치로 선택
	단락 보호	장착(자동 복귀)
응답 시간		500μs 이하
동작 표시등		주황색 LED(출력 ON 시 점등)
안정 표시등		녹색 LED(안정 입광 시, 안정 비입광 시 점등)
타이머 기능		약 2ms 고정 OFF 딜레이 타이머 장착　유효/무효 변환식
투광 정지 입력		신호 조건 ・투광 정지 : 개방 또는 4~8V ・투광 : 0~3V 또는 9V~+V(26.4V MAX.)
감도 변환 입력		신호 조건 ・입력 OFF : 개방 또는 4~8V ・입력 ON : 0~3V 또는 9V~+V(26.4V MAX.)
감도 설정		뒷면 티칭 : 본체 감도 설정 버튼으로 실행 검출 감도 변환 : 본체 스위치 2bit로 4단계 또는 외부 입력으로 2단계 선택식
내 환 경 성	보호 구조	IP20(IEC)
	사용 주위 온도	0~+55℃(단, 결로되지 않을 것), 보관 시 : -10~+70℃
	사용 주위 습도	35~85%RH, 보관 시 : 35~85%RH
	사용 주위 조도	백열 램프: 수광면 조도 3,000lx 이하, 형광등 조명 : 수광면 조도 1,500lx 이하
	내전압	AC 1,000V 1분간　충전부 전체 · 케이스 간
	절연 저항	DC 250V 절연 저항계에서 20MΩ 이상　충전부 전체 · 케이스 간
	내진동	내구 10~500Hz　복진폭 3mm　XYZ 각 방향 2시간
	내충격	내구 98m/s²(약 10G) XYZ 각 방향 5회
투광 소자		LED(변조식)
재질		케이스 : ABS 및 SUS301, 렌즈 : 아크릴
케이블		0.15mm² 5심 캡타이어 케이블 300mm 부속
케이블 연장		0.15mm² 이상의 케이블로 전체 길이 10m까지 연장 가능
질량		본체 질량 : 약 75g

(주1) : 지정하지 않은 측정 조건은 사용 주위 온도=+20℃입니다.

(주2) :
8인치 이하의 웨이퍼 검출은 웨이퍼 Pitch, 오리엔테이션 플랫부 또는 표면 상태에 따라 검출에 영향을 줄 가능성이 있습니다.

(주3) : 연마로 인해 두께가 얇아진 웨이퍼에서 단면이 칼날 형상으로 된 것은 검출면에서 수광 방향으로 빛이 반사되지 않기 때문에 검출이 곤란한 경우가 있습니다.

(주4) :
웨이퍼 회전으로 인한 오리엔테이션 플랫부의 최대 이탈 각도는 약 ±20°입니다.

(주5) :
8인치 웨이퍼가 비스듬히 삽입되었을 때 중앙 부근의 Pitch입니다. 오리엔테이션 플랫 부속 웨이퍼를 검출할 때 오리엔테이션 플랫부를 비껴간 검출 위치에서는 웨이퍼 Pitch가 더욱 좁아져 검출 신호가 분해되지 않고 폭이 넓고 연속적인 신호가 됩니다.

(주1) :	지정하지 않은 측정 조건은 사용 주위 온도=+20℃입니다.
(주2) :	8인치 이하의 웨이퍼 검출은 웨이퍼 Pitch, 오리엔테이션 플랫부 또는 표면 상태에 따라 검출에 영향을 줄 가능성이 있습니다.
(주3) :	연마로 인해 두께가 얇아진 웨이퍼에서 단면이 칼날 형상으로 된 것은 검출면에서 수광 방향으로 빛이 반사되지 않기 때문에 검출이 곤란한 경우가 있습니다.
(주4) :	웨이퍼 회전으로 인한 오리엔테이션 플랫부의 최대 이탈 각도는 약 ±20°입니다.
(주5) :	8인치 웨이퍼가 비스듬히 삽입되었을 때 중앙 부근의 Pitch입니다. 오리엔테이션 플랫 부속 웨이퍼를 검출할 때 오리엔테이션 플랫부를 비껴간 검출 위치에서는 웨이퍼 Pitch가 더욱 좁아져 검출 신호가 분해되지 않고 폭이 넓고 연속적인 신호가 됩니다.