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制御機器

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ウェーハ検出ビームセンサ DS(終了品)

仕様

センサヘッド

種類 差動式・限定反射型
サイドON ヘッドON
型式名 DS-L10 DS-L10H DS-L24H
組み合わせアンプ DS-A1
検出距離(注1) 2~8mm(注2) 5~24mm(注2)
最大検出距離 10.0±1.5mm(注2) 30±4mm(注2)
最小検出物体 ø0.05mm銅素線
(設定距離5mm、背景なきこと)
ø0.16mm銅素線
(設定距離14mm、背景なきこと)
応差(ヒステリシス) 100μm以下 1.36mm以下
繰り返し精度 検出軸方向:10μm以下
検出軸に直角方向:50μm以下(設定距離5mm時)
検出軸方向:10μm以下
検出軸に直角方向:50μm以下(設定距離14mm時)



使用周囲温度 0~+50℃(但し、結露しないこと)、保存時:-20~+70℃
使用周囲湿度 35~85%RH、保存時:35~85%RH
使用周囲照度 太陽光:受光面照度11,000lx、
白熱ランプ:受光面照度3,500lx
白熱ランプ:受光面照度70,000lx
耐電圧 AC1,500V 1分間 充電部一括・ケース間
絶縁抵抗 DC500Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間
耐振動 耐久10~55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
耐衝撃 耐久500m/s2(約50G) XYZ各方向3回
投光素子 赤外LED(変調式)
温度特性 使用周囲温度0~+50℃にて20℃のときの検出距離の±1%以下
材質 ケース:ABS
ケーブル 0.08mm2 複合3芯シールドケーブル3m付
ケーブル延長 同等のケーブルにて全長5mまで延長可能
質量 約80g
付属品 MS-DS-1(センサヘッド取付金具):一式

(注1):検出距離は、有無検出を行なう場合の最適設定距離です。微小な差の検出を行なう場合は、最大検出距離でご使用ください。
(注2):検出距離および最大検出距離は、白色無光沢紙(DS-L10、DS-L10H:20×20mm、DS-L24H:50×50mm)に対する値です。

アンプ

種類 専用アンプ
型式名 DS-A1
組み合わせセンサヘッド DS-L10、DS-L10H、DS-L24H
電源電圧 12~24V DC±10% リップルP-P10%以下
消費電流 40mA以下
出力 NPNトランジスタ・ユニバーサル
・最大流入電流:100mA
・残留電圧:
1V以下(流入電流100mAにて)
0.4V以下(流入電流16mAにて)
  出力動作 入光時ON/非入光時ON 切換スイッチにて選択
短絡保護 装備
応答時間 3ms以下
動作表示灯 赤色LED(出力ON時点灯)
スパンボリウム 連続可変ボリウム装備(最大検出距離の微調整が可能)



使用周囲温度 0~+50℃(但し、結露しないこと)、保存時:-20~+70℃
使用周囲湿度 35~85%RH、保存時:35~85%RH
耐ノイズ 電源ライン:200Vp・パルス幅1μs、
ふく射:1,300Vp・パルス幅1μs(ノイズシミュレータにて)
耐電圧 AC1,500V 1分間 充電部一括・ケース間
絶縁抵抗 DC500Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間
耐振動 耐久10~55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
耐衝撃 耐久100m/s2(約10G) XYZ各方向3回
材質 ケース:ポリカーボネート、端子部:PBT
質量 約15g
付属品 調整ドライバ:1本

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