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【パナソニック デバイスSUNX商品 および パナソニック デバイスSUNX竜野商品 製造者変更のお知らせ】
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制御機器

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ウェーハアドレスセンサ M(終了品)

仕様

種類 8インチウェーハ用 6インチウェーハ用
25枚用 26枚用 25枚用
型式名 M-825 M-826 M-625
ウェーハピッチ 6.35mm 4.76mm
電源電圧 20~26.4V DC リップルP-P10%以下
消費電流 200mA
検出出力 NPNトランジスタ・オープンコレクタ
・最大流入電流:20mA
・印加電圧:30V DC以下(検出出力-0V間)
・残留電圧:1V以下(流入電流20mAにて)
チャンネル数 25チャンネル 26チャンネル 25チャンネル
  出力動作 遮光時ON
応答時間 1ms以下
投光停止機能 装備
出力停止
(外部同期)機能
装備
電源表示灯 赤色LED(通電時点灯)



使用周囲温度 0~+40℃(但し、結露しないこと)、保存時:-25~+60℃
使用周囲湿度 35~85%RH、保存時:35~85%RH
使用周囲照度 蛍光灯:受光面照度1,500lx以下、白熱ランプ:受光面照度100lx以下
耐電圧 AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間
絶縁抵抗 DC500Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間
耐振動 耐久10~150Hz 複振幅0.75mm XYZ各方向2時間
耐衝撃 耐久490m/s2(約50G) XYZ各方向3回
投光素子 赤外LED(発光ピーク波長:870nm、変調式)
材質 検出部:PPS、本体ケース:ABS、コネクタ:PBT
ケーブル 1.27mmピッチ 30芯 可とう型コネクタ付フラットケーブル500mm付
ケーブル延長 同等のフラットケーブルにて全長20mまで延長可能
質量 本体質量:約150g
付属品 スペーサ:2個

(注1):指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。

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