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LED型晶圓校準感測器 HD-T1
規格
檢測頭
| 型號 | HD-T1030 | |
| 適用控制器 | HD-T1C | |
| 檢測寬度 | 30mm(直線性按照28mm的寬度規定) | |
| 檢測距離 | 30mm(固定)(註2) | |
| 環 境 性 能 |
保護構造 | IP40(IEC) |
| 使用環境溫度 | 0℃～＋40℃(注意不可結露)，保存時：－20℃～＋55℃ | |
| 使用環境濕度 | 35％RH～85％RH，保存時：35％RH～85％RH | |
| 使用環境照明度 | 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、螢光燈：受光面照明度3,000lx以下 | |
| 耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
| 絕緣電組 | 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基於DC250V的高阻表 | |
| 耐振動 | 頻率10Hz～150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時 | |
| 耐衝擊 | 加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次 | |
| 投光元件 | 紅色LED(投光波峰波長：650nm) | |
| 受光元件 | 光電二極管 | |
| 材質 | 本體外殼：PEI、前罩部：玻璃、安裝基座：鋁 | |
| 電線 | 耐熱PVC電線0.5m末端帶連接器 | |
| 重量 | 本體重量：約150g | |
(註1)： 無指定的測量條件為使用環境溫度＝+20℃。
(註2)： 出廠時固定於安裝基座狀態下的值。
控制器
| 型號 | HD-T1C | |
| 適用檢測頭 | HD-T1030 | |
| 電源電壓 | 24V DC±10% 脈動P-P10%以下 | |
| 消耗電流 | 70mA以下(含檢測頭) | |
| 模擬輸出 | 模擬電壓 ・輸出電壓：1±0.5V(全遮光時)～5±0.5V(全入光時) ・輸出阻抗：75Ω |
|
| 反應時間 | 0.5ms以下(8V/ms以上) | |
| 分辨率 | 30μm(註2) | |
| 直線性 | ±1.0%F.S.(檢測位置中心的檢測寬度28mm)(註3) | |
| 溫度特性 | ±0.1%F.S./℃(24℃±2℃) (註3) | |
| 量程調整功能 | 裝備15圈無限制調節器，可調整模擬輸出電壓的量程 | |
| 轉移調整功能 | 裝備15圈無限制調節器，可調整模擬輸出電壓的偏置 | |
| 預熱時間/td> | 30分以上 | |
| 環 境 性 能 |
保護構造 | IP40(IEC) |
| 使用環境溫度 | 0℃～＋40℃(注意不可結露)，保存時：－20℃～＋70℃ | |
| 使用環境濕度 | 35％RH～85％RH，保存時：35％RH～85％RH | |
| 耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
| 絕緣電組 | 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基於DC250V的高阻表 | |
| 耐振動 | 頻率10Hz～150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時 | |
| 耐衝擊 | 頻率490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次 | |
| 材質 | 本體外殼：耐熱ABS，連接器外罩部：耐熱ABS，調節器外罩部：聚碳酸酯 | |
| 電線 | 0.22mm2 3芯耐熱PVC電線，長0.3m | |
| 電線延長 | 0.3mm2以上的電線全長可延長至3m | |
| 重量 | 本體重量：約85g | |
(註1)： 無指定的測量條件為使用環境溫度＝+20℃。
(註2)： 解析度為模擬輸出的峰值～峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。
(註3)： 檢測頭和控制器組合後測定時的代表示例。
- (02)2757-1808 授理時間 9:00-17:30(除敝司休假日)
