【休業期間のお知らせ】 2024年4月27日 (土) ～ 5月6日 (月) の期間、勝手ながら当ウェブサイトへのお問合せの回答を休止いたします。

HD-T1C | LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

CAD　カタログ　マニュアル　ソフト・その他
よくあるご質問

※実際の商品は写真とは異なる場合がございます。

EU RoHS指令 2011/65/EUの6物質、及びEU RoHS指令2015/863/EUの4物質の非含有規定に適合しております。

外形寸法図はこちら

品番	HD-T1C
型番	HD-T1C
商品	LED式ウェーハアライメントセンサ
詳細	コントローラ
商品名	LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

2024年05月05日現在
商品改良のため、仕様・外観は予告なしに変更することがありますのでご了承ください。

スペック詳細

項目	内容
品番	HD-T1C
型番	HD-T1C
組み合わせコントローラ	HD-T1030
耐環境性:保護構造	IP40(IEC)
耐環境性:使用周囲温度	0～+40℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+70℃
耐環境性:使用周囲湿度	35～85%RH、保存時：35～85%RH
耐環境性:耐電圧	AC1,000V 1分間　充電部一括・ケース間
耐環境性:絶縁抵抗	DC250Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
耐環境性:耐振動	耐久10～150Hz　複振幅0.75mm　XYZ各方向2時間
耐環境性:耐衝撃	耐久490m/s²(約50G) XYZ各方向3回
材質	本体ケース：耐熱ABS、コネクタカバー部：耐熱ABS、ボリウムカバー部：ポリカーボネート
ケーブル	0.22mm² 3芯耐熱PVCケーブル0.3m付
質量	本体質量：約85g
電源電圧	24V DC±10%　リップルP-P10%以下
消費電流	70mA以下(センサヘッドを含む)
アナログ出力	アナログ電圧・出力電圧：1±0.5V(全遮光時)～5±0.5V(全入光時) ・出力インピーダンス：75Ω
アナログ出力:応答時間	0.5ms以下(8V/ms以上)
アナログ出力:分解能	30μm (注):分解能とは、アナログ出力のピークtoピーク距離換算値(20MHz以下帯域にて)です。
アナログ出力:直線性	±1.0%F.S.(検出位置中心の検出幅28mmにて) (注):センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。
アナログ出力:温度特性	±0.1%F.S./℃(24±2℃にて) (注):センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。
スパン調整機能	アナログ出力電圧のスパンを調整、15回転エンドレスボリウム装備
シフト調整機能	アナログ出力電圧のオフセットを調整、15回転エンドレスボリウム装備
ウォーミングアップ時間	30分以上
ケーブル延長	0.3mm²以上のケーブルにて全長3mまで延長可能