【パナソニック デバイスSUNX商品 および パナソニック デバイスSUNX竜野商品 製造者変更のお知らせ】
2024年4月1日以降、本ページ内の表記、およびダウンロード対象のマニュアル等の「パナソニック デバイスSUNX株式会社」および「パナソニック デバイスSUNX竜野株式会社」を
全て「パナソニック インダストリー株式会社」と読み替えて適用するものといたします。
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LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1
使用上のご注意
- 本製品は、人体保護用の検出装置としては使用しないでください。
- 人体保護を目的とする検出にはOSHA、ANSI、およびIEC等の各国の人体保護用に関する法律および規格に適合する製品をご使用ください。
| ・ | センサヘッドとコントローラは、必ずセットでご使用ください。 |
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取り付け
センサヘッド
- センサヘッドの取り付けは、下図のようにM4六角穴付ボルト(別途ご用意ください)を2個使用し、締め付けトルクは0.5N・m以下としてください。
- 投･受光器と取付ベースを固定している固定ビスは、取り外さないでください。出力値が変動します。
- 投･受光器側面の取付穴を使用して、ビスで取り付けないでください。
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コントローラ
<DINレールを使用する場合>
| (1) | ストッパを矢印の方向に押し込んだ状態(ロックされます)で取り付け部前部を35mm幅DINレールにはめ込みます。 |
|---|---|
| (2) | 取り付け部後部を35mm幅DINレールに押さえ付け、はめ込みます。 |
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<ビスを使用する場合>
- ビスで取り付ける場合は、M4ナベビスを使用し、締め付けトルクは1.2N・m以下としてください。
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配線
- コントローラのアナログ出力には、短絡保護回路が装備されていません。電源あるいは容量負荷を直接接続しないでください。
- 配線時、コネクタに静電気を印加しないようご注意ください。故障の原因となります。
- 誤配線をすると、故障の原因となります。
- コントローラのケーブル延長は、0.3mm2以上のケーブルにて全長3mまで可能です。センサヘッドのケーブルの長さは、変更できません。
- ケーブルの引き出し部に無理な曲げ、引っ張りなどのストレスが加わらないようにしてください。断線するおそれがあります。
- 直流電源には、必ず絶縁トランスをご使用ください。オートトランス(単巻トランス)をご使用になると、本体や電源を破損することがあります。
- 使用電源にサージが発生する場合は、発生源にサージアブソーバを接続してサージを吸収してください。
その他
- 電源投入時の過渡的状態(0.5s)を避けてご使用ください。
- 本製品は、LED光の受光量を出力しています。検出幅の中心部と周囲部では光強度にばらつきがあるため、寸法精度の保証はできませんので、ご注意ください。
- センサヘッドの投・受光面に水、油、指紋など光を屈折させるもの、あるいはホコリやゴミなど光を遮断するものを付着させないでください。付着した場合は、ホコリの出ない柔らかい布、またはレンズ用ペーパーなどで拭いてください。
- 測定物体が鏡面体または透明体の場合、正確に測定できない場合がありますので、ご注意ください。
- 0120-394-205
関連情報
サービス・サポート
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