【パナソニック デバイスSUNX商品 および パナソニック デバイスSUNX竜野商品 製造者変更のお知らせ】
2024年4月1日以降、本ページ内の表記、およびダウンロード対象のマニュアル等の「パナソニック デバイスSUNX株式会社」および「パナソニック デバイスSUNX竜野株式会社」を
全て「パナソニック インダストリー株式会社」と読み替えて適用するものといたします。
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本商品は受注を終了いたしました。
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感度切換スイッチ | 感度 | |
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最高感度 (MAX) |
窒化膜や酸化膜処理などを行なった反射率の低いウェーハや厚みの薄いウェーハ[0.3~0.4mm(注1)(注2)]に使用します。 | |
高感度 (HIGH) |
最高感度の状態と通常感度の状態の中間です。 | |
通常感度 (MID) |
ポリッシュウェーハなど反射率の高いウェーハや3mmピッチの検出信号用に使用します。 | |
低感度 (LOW) |
設定できる最低感度の状態です。 |
(注1): | 8インチ以下のウェーハ検出は、ウェーハピッチ、オリフラ部または表面の状態により、検出に影響が出る可能性があります。 |
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(注2): | 研磨により厚みが薄くなったウェーハにて、端面が刃物形状となったものは、検出面から受光方向に光が反射しないために検出が困難な場合があります。 |
感度切換 スイッチ |
外部感度切換入力 | 感度 | |
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0~3Vまたは 9V~+V (26.4V MAX.) |
ON | 最高感度 (MAX) |
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開放または 4~8V | OFF | 通常感度 (MID) |
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0~3Vまたは 9V~+V (26.4V MAX.) |
ON | 高感度 (HIGH) |
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開放または 4~8V | OFF | 低感度 (LOW) |
(注1):感度の詳細については、感度切換設定をご覧ください。
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検出信号幅
(1) | ウェーハの厚みよりも大きい幅の信号が出力されます。 |
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(2) | 検出信号幅は、検出端面の光反射率によっても変化します。 高反射率(ポリッシュ、アルミ蒸着など): 検出信号幅大 例): ウェーハ厚み t=0.6mm → 検出信号幅 約1.5mm 低反射率(窒化膜、酸化膜処理など): 検出信号幅小 例): ウェーハ厚み t=0.6mm → 検出信号幅 約1.1mm |
(3) | 検出信号幅は、検出距離や検出角度によっても変化します。 |
狭ピッチ検出信号幅
ウェーハサイズ | 通常サイズ | オリフラ長 | ウェーハ厚み | クロスピッチ小 | クロスピッチ大 |
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3inch(75mm) | 4.75mm | 22.2mm | 0.380mm | 1.58mm | 3.17mm |
4inch(100mm) | 4.75mm | 32.5mm | 0.625mm | 1.54mm | 3.21mm |
5inch(125mm) | 4.75mm | 42.5mm | 0.625mm | 1.52mm | 3.23mm |
6inch(150mm) | 4.75mm | 57.5mm | 0.675mm | 1.43mm | 3.33mm |
8inch(200mm) | 6.35mm | 59.3mm | 0.725mm | 2.19mm | 4.16mm |
ご注文・ご使用に際してのお願い(制御部品・電子デバイス)[特定商品を除く]
ご注文・ご使用に際してのお願い(制御部品・電子デバイス)[特定商品]
ご注文・ご使用に際してのお願い(FAセンサ・システム[モータ以外])
ご注文・ご使用に際してのお願い(産業用モータ専用)