晶圓定位感測器 M-DW1（停產品）

• 安裝感測器時，請使晶圓端面與感測器檢測面之間的距離為45mm，並且可12.5°傾斜檢測晶圓。安裝時，使用M4(長度：16mm)螺絲，緊固扭矩控制在1.2N・m以下。並且，晶圓的位置偏差(突出或凹陷等)會導致檢測距離變
  化，但是如果誤差在5mm範圍內，也可實現穩定檢測。

俯視圖 (註1): 晶圓的中心軸與感測器軸在一直線上(0°)將無法檢測。 安裝感測器時，必須將感測器與晶圓保持相對傾斜。

• 請務必在切斷電源的狀態下進行配線作業。
• 配線錯誤會導致故障。
• 請確認電源的波動，以免電源輸入超過額定範圍。
• 使用市售的開關調節器時，請務必將電源的框架式接地(F.G.)端子接地。
• 在感測器安裝部周圍使用作為干擾發生源的設備(開關調節器、變頻馬達等)時，請務必將設備的框架式接地(F.G.)端子接地。
• 延長電線時，可通過截面積為0.15mm2以上的電線將全長延長至10m。不過，為避免噪音，請儘量縮短配線。
• 請避免與高壓線和動力線並行配線，或使用同一配線管，否則會因電磁感應而導致誤動作。
• 直流電源請務必使用絕緣變壓器。使用自動變壓器(自耦變壓器)時，有時會損壞本體和電源。
• 使用電源發生突波時，請將發生源與突波吸收器連接，以吸收突波。

• 使用時，請避開電源接通時的過渡狀態(0.5s)。
• 快速起動式、高頻點亮式螢光燈的光束會給檢測造成影響。雖然因感測器類型而有所差異，但還應注意不要使光束直接投射到感測器上。
• 請勿在蒸氣、灰塵等較多的場所使用。
• 請勿使產品和稀釋劑等有機溶劑或水、油以及油脂直接接觸。並且避免在上述環境中使用。
• 注意避免使感測器的檢測面上沾染灰塵等。否則會導致誤動作。如有灰塵，請用壓縮空氣吹掃或用軟布小心擦拭乾淨。

• 檢測帶定位邊晶圓時，感測器的安裝必須確保可檢測定位邊以外的位置。為了從不同的角度兩次檢測晶圓，請設定機械臂等的動作，對檢測信號的結果進行OR處理。

俯視圖

• 利用靈敏度切換開關(2bits)的組合，可實現4級靈敏度切換。

靈敏度切換開關	靈敏度
	最高靈敏度 (MAX)	用於經過氮化膜或氧化膜處理的低反射率晶圓或薄型晶圓［0.3～0.4mm(註1)(註2)］。
	高靈敏度 (HIGH)	最高靈敏度與通常靈敏度兩種狀態之間。
	通常靈敏度 (MID)	用於拋光晶圓等高反射率晶圓或3mm間距的檢測信號。
	低靈敏度 (LOW)	可設定的最低靈敏度狀態。

• 將外部靈敏度切換輸入(紫)設為0～3V或9V～+V(26.4VMAX.)，則外部靈敏度切換輸入ON；設為斷開或4～8V，則外部靈敏度切換輸入OFF。
  通過外部靈敏度切換輸入切換靈敏度時，如下表所示設定靈敏度切換開關。

靈敏度切換開關	外部靈敏度切換輸入		靈敏度
	0～3V或 9V～+V (26.4V MAX.)	ON	最高靈敏度 (MAX)
	斷開或 4～8V	OFF	通常靈敏度 (MID)
	0～3V或 9V～+V (26.4V MAX.)	ON	高靈敏度 (HIGH)
	斷開或 4～8V	OFF	低靈敏度 (LOW)

(註1):靈敏度詳情請參閱靈敏度切換設定。

• 本產品為不易受背景影響的光學部件，但是在檢測小口徑晶圓等時可能會受背景的影響。因此，在晶圓盒中無晶圓的狀態下檢測背景、穩定指示燈(綠色)熄滅時，需要設定靈敏度以避免背景的影響。但是，一旦設定靈敏度，靈敏度將會下降。
• 已設靈敏度將保存在EEPROM中，重新接通電源不必重新設定。但是，EEPROM壽命有限，保證寫入次數為10萬次，請注意。

• 將外部投光停止輸入(粉紅色)設為0～3V或9V～＋V(26.4VMAX.)時投光停止。此時輸出為非入光狀態。

時間表

檢測信號寬度

• 不同的感測器輸出的檢測信號如下所示。

• 如上所述，根據感測器的檢測信號讀取晶圓位置時，請考慮反應時間，算出信號ON區域的中間位置。

窄間距檢測信號寬度

• 在「檢測帶定位邊的晶圓」時一項中，如果在避開晶圓定位邊的位置安裝感測器，則晶圓盒內交叉狀態的間距如下圖變化。

• 根據晶圓尺寸計算出的間距如下表所示。

• 如左圖所示，由於交叉狀態的間距變小，因此，高反射率的晶圓需要的間距分解能力(極限值3mm)下降，可能導致兩種檢測信號不分離。
  並且檢測信號會因靈敏度設定、晶圓光反射率或檢測狀態(檢測距離或檢測角度)而變化。
  因此，傾斜插入晶圓時，窄間距側兩種信號發生重疊，檢測信號有時連續有時分離。
• 對於晶圓盒內帶定位邊的晶圓，可能會因定位邊的位置而導致在兩次檢測之中，有一次感測器穿過定位邊而無法檢測。
  因此，傾斜插入晶圓時可能無法輸出分離的檢測信號。此時，根據檢測信號算出的晶圓位置資訊必定是異常狀態。