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晶圓定位感測器 M-DW1
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本產品已停止生產。
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規格
| 種類 | LED式反射型 | |
| 型號 | M-DW1 | |
| 中心測量距離 | 45mm | |
| 檢測物體 | 3英寸以上的半導體晶圓(註2) | |
| 可對應檢測面 | 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(註3) | |
| 檢測角度 | 12.5°±5°(註4) | |
| 晶圓間距 | 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(註5) | |
| 適用晶圓盒 | SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 | |
| 電源電壓 | 12〜24V DC±10% 脈動P-P10%以下 | |
| 消耗電流 | 65mA以下 | |
| 輸出 | NPN輸出／PNP輸出 可由切換開關選擇 <NPN輸出> NPN開路集電極晶體管 ・最大流入電流：100mA ・外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間) ・剩餘電壓：1V以下(流入電流為100mA時) 0.4V以下(流入電流為16mA時) <PNP輸出> PNP開路集電極晶體管 ・最大源電流：100mA ・外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間) ・剩餘電壓：1V以下(源電流為100mA時) 0.4V以下(源電流為16mA時) |
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| 輸出動作 | 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON | |
| 短路保護 | 裝備(自動復位) | |
| 反應時間 | 500μs以下 | |
| 工作狀態指示燈 | 橙色LED(輸出ON時亮起) | |
| 穩定指示燈 | 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起) | |
| 定時器功能 | 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式 | |
| 投光停止輸入 | 信號條件 ・投光停止：斷開或4V～8V ・投光：0V～3V或9V～＋V(26.4V MAX.) |
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| 靈敏度切換輸入 | 信號條件 ・輸入OFF：斷開或4V～8V ・輸入ON：0V～3V或9V～＋V(26.4V MAX.) |
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| 靈敏度設定 | 背面教導：按本體靈敏度設定按鈕運行 檢測靈敏度切換：本體開關2bit、4級或外部輸入的2級選擇式 |
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| 環 境 性 能 |
保護構造 | IP20(IEC) |
| 使用環境溫度 | 0℃～＋55℃(注意不可結露)，保存時：－10℃～＋70℃ | |
| 使用環境濕度 | 35％RH～85％RH，保存時：35％RH～85％RH | |
| 使用環境照明度 | 白熾燈：受光面照明度3,000 x以下、螢光燈：受光面照明度1,500 x以下 | |
| 耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
| 絕緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基於DC250V的高阻表 | |
| 耐振動 | 頻率10Hz～500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時 | |
| 耐衝擊 | 加速度98m/s2(約10G) X,Y和Z方向各5次 | |
| 投光元件 | LED(調制式) | |
| 材質 | 外殼：ABS及SUS301，聚焦鏡：丙烯 | |
| 電線 | 0.15mm2 5芯橡皮電線，長300mm | |
| 電線延長 | 0.15mm2 以上的電線全長可延長至10m | |
| 重量 | 本體重量：約75g | |
(註1)： 無指定的測量條件為使用環境溫度＝+20℃。
(註2)： 檢測8英寸以下的晶圓時，可能會因晶圓間距、定位邊或表面的狀態等而影響檢測。
(註3)： 對於經研磨後厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。
(註4)： 晶圓旋轉時，定位邊的最大跳動角度約為±20°。
(註5)： 斜向插入8英寸晶圓時的中央附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時，對於避開定位邊的檢測位置，晶圓間距變得更窄，檢測信號無法分解，變為連續的寬幅信號。
- (02)2757-1808 授理時間 9:00-17:30(除敝司休假日)
