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渦電流式変位センサ - 変位センサ(検査・判別・測定用センサ)

渦電流式変位センサ

渦電流式変位センサ

検出原理

渦電流式変位センサは、センサヘッド内部のコイルに高周波電流を流して、高周波磁界を発生させます。
この磁界内に測定対象物(金属)があると、電磁誘導作用によって、対象物表面を通過する磁束の周りに渦電流が流れて、センサヘッド内部のコイルのインピーダンスが変化します。
渦電流式変位センサは、この現象による発振状態の変化により、距離を測定します。

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材質による出力補正

標準検出物体に対して密着状態で0V、最大検出範囲(フルスケール)で5Vとなるように調整し、各材質における検出距離とアナログ出力の関係が比例するように補正しています。

GP-Xシリーズ

3つの材質(SUS304、鉄、アルミ)に対して出力が直線補正されています。材質の選択は、コントローラ内の設定を切り換えて行ないます。
また、3点キャリブレーション機能を備えています。密着点(ゼロ点)、ハーフスケール(最大検出距離の1/2)、フルスケール(最大検出距離)の3点で調整することで、対象物に対する距離と出力の直線性を最適化します。

出力特性を最適に補正

GP-Aシリーズ

鉄を標準検出物体として出力が直線補正されています。
従ってそれ以外の材質(ステンレス、アルミ、銅など)に対しては、出力特性が異なります。GP-Aシリーズの検出特性図を参考にしてください。
また、シフト調整とスパン調整により、出力の微調整が可能です。

代表例

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GP-Xシリーズ、GP-Aシリーズの動作原理

対象物体(金属)とセンサヘッドの距離が近づくと、渦電流の発生が大きくなり、センサヘッド側のエネルギー損失が増加します。この結果、発振振幅は距離が近いと小さくなり、距離が離れると大きくなります。この発振振幅の変化を整流して直流電圧の変化としています。
整流された信号と距離はほぼ比例関係ですが、直線化回路(リニアライズ)で直線性の補正を行ない、距離に比例した出力を得ています。